-  반도체 증착장비용 고기능성 세라믹 히터
              -  높은 열전도율과 탁월한 전기절연성으로 반도체 증착 장비 히터의 소재로 적합

              ■ 특징 1 : 히터에 매립되는 RF mesh 균일성

              ■ 특징 2 : 히터 균일한 온도 유지를 통한 양질의 증착막 균일도형성

              ■ 특징 3 : 펄스 가열 통한 고속 승온