- End Effector

         - Alumina(Al2O3), Beryllium Oixde(BeO), Silicon Nitride(Si3N4), Zirconia(ZrO2) 외 소재도 제작 가능

         - 웨이퍼 운반 역할

         ■ 특징 1 : 높은 내열성

         ■ 특징 2 : 높은 내화학성

         ■ 특징 3 : 높은 내마모성